Puolijohdetyhjiöjärjestelmä on yksi keskeisistä puolijohdelaitteiden valmistuksessa käytetyistä laitteista. Se on suljettu järjestelmä erittäin puhtaassa, matalapaineisessa ympäristössä puolijohdemateriaalien ja -laitteiden käsittelyyn ja käsittelyyn.
Puolijohdetyhjiöjärjestelmissä käytetään usein tehokkaita kumitiivisteitä korkean puhtauden ja alhaisten vuotojen vuoksi. Tässä on joitain yleisiä kumitiivistetyyppejä:
Viton (FPM) -tiivisteet: Viton on kemikaaleja ja korkeita lämpötiloja kestävä fluorielastomeeri, jota käytetään laajalti tyhjiöjärjestelmissä. Sillä on erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys, korroosionkestävyys ja alhainen kaasunläpäisevyys, mikä tekee siitä sopivan tiivistysvaatimuksiin, jotka kestävät korkean tyhjiön ja korkeita lämpötiloja.
Nitriili (NBR) tiivisteet: Nitriili on yleiskäyttöinen synteettinen kumi, jolla on hyvä öljyn- ja kulutuskestävyys. Puolijohdetyhjiöjärjestelmissä nitriilitiivisteitä käytetään pääasiassa joissakin ei-korkealämpötilaisissa, ei-syövyttävissä sovelluksissa, kuten matalatyhjiö- ja kaasuputkiliitännöissä.
Silikoni (VMQ) tiiviste: Silikoni on korkeita lämpötiloja kestävä silikonikumi, jolla on hyvä elastisuus ja lämmönkestävyys. Sitä käytetään usein puolijohdetyhjiöjärjestelmissä kestämään tiivistysvaatimuksia korkeissa lämpötiloissa, kuten lämpökäsittelyssä, hehkutuksessa ja korkean lämpötilan höyrypuhdistuksessa.
EPDM-tiiviste: EPDM on eteenipropeenikumia, jolla on hyvä hapettumiskestävyys, happo- ja alkalinkestävyys. Puolijohdetyhjiöjärjestelmissä EPDM-tiivisteitä käytetään usein muissa kuin korkeissa lämpötiloissa, ei-syövyttävissä sovelluksissa, kuten matalapaineisissa ja kaasunsiirtoputkissa.
Näillä kumitiivisteillä on erilaiset ominaisuudet ja käyttöalueet. Sopivaa tiivistettä valittaessa on otettava huomioon sellaiset tekijät kuin järjestelmän käyttöolosuhteet, lämpötila-alue, väliaineen ominaisuudet ja painevaatimukset. Lisäksi tiivisteiden valmistus- ja asennusprosessin on noudatettava tiukkoja prosessivaatimuksia tiivistyskyvyn varmistamiseksi.
Puolijohdetyhjiöjärjestelmissä käytetään kumitiivisteiden lisäksi usein kumitiivisteitä tehokkaan tiivistyksen aikaansaamiseksi. Tässä on joitain yleisiä kumitiivistetyyppejä:
O-rengastiiviste: O-rengas on pyöreän poikkileikkauksen omaava kumitiiviste, jota käytetään laajalti puolijohdetyhjiöjärjestelmissä. Sillä on hyvä tiivistyskyky ja puristusmuodonmuutoskyky, ja se voi mukautua erilaisiin tiivistysvaatimuksiin, kuten putkiliitäntöihin, venttiileihin, liitoksiin jne.
Litteä tiiviste: Litteä tiiviste on litteä kumitiiviste, jota käytetään yleisesti puolijohdetyhjiöjärjestelmien laippaliitäntöihin. Sillä saavutetaan tiivistys koskettamalla laipan pintaa ja se on yleensä valmistettu korkean lämpötilan kemikaaleja kestävästä kumimateriaalista, kuten Viton tai silikoni.
U-muotoinen tiiviste: U-muotoinen tiiviste on poikkileikkaukseltaan U-muotoinen kumitiiviste, joka soveltuu erityisiin tiivistystarpeisiin puolijohdetyhjiöjärjestelmissä. Sitä käytetään usein mäntien, männänvarsien, sylinterien ja muiden komponenttien tiivistämiseen, ja sillä on hyvä tiivistyskyky ja puristusmuodonmuutoskestävyys.
V-muotoinen tiiviste: V-muotoinen tiiviste on poikkileikkaukseltaan V-muotoinen kumitiiviste, jota käytetään yleisesti venttiileissä ja pyörivissä akselitiivisteissä puolijohdetyhjiöjärjestelmissä. Se saavuttaa tehokkaan tiivistyksen koskettamalla tiivistepintaa, ja sillä on hyvä tiivistys- ja kulutuskestävyys.
Näiden kumitiivisteiden valinta määräytyy erityisten tiivistysvaatimusten, työolosuhteiden ja väliaineen ominaisuuksien perusteella. Samalla tiivisteen materiaalivalinta on myös erittäin tärkeä. Yleisesti käytettyjä materiaaleja ovat Viton, nitriili, silikoni jne. Valinnassa tulee ottaa huomioon sellaisia tekijöitä kuin lämpötila-alue, kemiallinen korroosionkestävyys ja kaasuvuotonopeus. Tiivistettä asennettaessa tulee kiinnittää huomiota siihen, että tiivistepinta pysyy puhtaana ja että tiiviste asennetaan ja painetaan oikein hyvän tiivistysvaikutuksen saavuttamiseksi.
Suositut Tagit: puolijohdetyhjiöjärjestelmän tiivisteet, Kiina puolijohdetyhjiöjärjestelmän tiivisteiden valmistajat, toimittajat, tehdas
